在先進半導體與ESG並進的時代 重新檢視除酸濾網的設計邏輯

（記者張芸瑄／綜合報導）隨著先進半導體製程持續微縮，製程穩定度、設備可靠性與ESG永續治理，已成為晶圓廠營運管理中不可忽視的核心課題。其中，空氣中酸性氣體（如 H₂S）與化學污染物（AMC）的控制，已不再僅是單純的環保議題，而是直接關係設備壽命、製程良率與長期營運風險的重要環節。

目前業界部分廠區仍使用的填充式（炮筒式）除酸濾網，其設計多源自二、三十年前的製程條件，當時風量較低、腐蝕負載有限，製程與設備配置亦相對單純。然而，在現今高風量、低濃度、24 小時連續運轉的先進製程環境下，這類屬於「沿用型」的結構設計，逐漸面臨與現代製程需求落差擴大的挑戰。

從工程實務與長期運轉經驗觀察，填充式濾網內部所使用的活性碳或化學顆粒材料，在氣流擾動、熱脹冷縮與長時間運轉條件下，可能產生顆粒沉降、結構鬆動與通道化（channeling effect）現象，使氣流偏離原先設計的均勻流道，導致實際有效接觸深度下降，降低濾材利用效率，導致除酸效能無法有效發揮。此外，濾網前、中、後段阻力分布不均，也可能造成局部風速差異，影響濾材利用效率，並增加整體系統能耗。

在結構與安裝層面，填充式濾網多採多孔位配置，濾桶重量集中於支撐結構，長期使用下對框架與密合結構形成負載考驗。其密封方式多仰賴人工安裝與 O-ring 等機械密合元件，若受力不均或裝配品質存在差異，實務上仍可能產生旁通（Bypass）風險，使部分氣流未能充分經過設計路徑，對高潔淨度製程形成潛在不確定性。

在設備密集的半導體廠房環境中，填充式濾網通常需預留較大的抽換與維修空間，對於空間配置、施工動線與後續維護管理亦增加一定複雜度。當設備數量與製程密度持續提高時，相關管理與風險控管需求亦隨之上升。

從ESG與循環經濟角度來看，填充式濾網於更換或汰換過程中，可能伴隨細小顆粒或粉塵產生，需透過完善的操作與防護程序加以管理；其廢棄物型態多為複合材料，不易分類、減量或回收，與半導體產業近年積極推動的碳盤查、廢棄物減量與永續揭露目標，仍有進一步優化的空間。

近年來，國際產業趨勢已逐步朝向箱型化、可控式與風險導向的除酸設計發展，重點不再僅聚焦於「是否具備除酸能力」，而是如何在系統穩定性、可預測壽命管理與ESG可交代性之間取得平衡。相關學術研究與實證目前仍持續進行中，產業亦應以前瞻風險管理的角度，重新檢視既有設計是否符合未來先進製程與永續發展的長期需求。

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